Zentrales Innovationsprogramm Mittelstand des BMWi (ZIM) (Archiv)

Neue Messmethodik für die WerkstoffentwicklungNeue Messmethodik für die Werkstoffentwicklung (>> mehr)
Projektleitung: D. Hömberg
1. Oktober 2009 - 31. Oktober 2011
Gittersimulation im Field TracingGittersimulation im Field Tracing
Projektleitung: B. Schmidt
1. März 2012 - 28. Februar 2014
Entwicklung eines hybriden Scattering-Matrix-Algorithmus für die indirekte Vermessung von Oberflächenstrukturen bei Plasma-ÄtzprozessenEntwicklung eines hybriden Scattering-Matrix-Algorithmus für die indirekte Vermessung von Oberflächenstrukturen bei Plasma-Ätzprozessen (>> mehr)
Projektleitung: A. Rathsfeld
1. Mai 2015 - 30. Juni 2017